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Artículo

Sequential microcontroller-based control for a chemical vapor deposition process

Pérez, Edgar Serrano; Pérez, Javier Serrano; Piñón, Fernando Martínez; García, José Manuel Juárez; Pérez, Omar Serrano; López, Fernando Juárez

Instituto de Ciencias Aplicadas y Tecnología, UNAM, publicado en Journal of Applied Research and Technology, y cosechado de Revistas UNAM

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Procedencia del contenido

Cita

Pérez, et al. (2017). Sequential microcontroller-based control for a chemical vapor deposition process. Journal of Applied Research and Technology; Vol. 15 Núm. 6. Recuperado de https://repositorio.unam.mx/contenidos/4110211

Descripción del recurso

Autor(es)
Pérez, Edgar Serrano; Pérez, Javier Serrano; Piñón, Fernando Martínez; García, José Manuel Juárez; Pérez, Omar Serrano; López, Fernando Juárez
Tipo
Artículo de Investigación
Área del conocimiento
Ingenierías
Título
Sequential microcontroller-based control for a chemical vapor deposition process
Fecha
2019-07-24
Resumen
A cost-effective direct liquid injection system is developed for a chemical vapor deposition process using a microcontroller. The precursor gas phase is controlled by the precise sequential injection of a liquid precursor solution to a vaporizing chamber prior deposition. The electronic control system allows the human–machine interface through a LCD display and a keypad matrix. The core of the electronic system is based on an electro mechanical injector operated in time and frequency as a sequential control system by a popular PIC16F877A chip. The software has been developed in the BASIC language and it can be easily modified through an ICSP programmer for different sequential automatized routines. The injection calibration test has proven the linearity of the injection control system for different operation parameters. The results reported the sequential injection MOCVD deposition of alumina thin film.
Tema
Microcontroller; Chemical vapor deposition; Direct liquid injection; Thin films
Idioma
eng
ISSN
ISSN electrónico: 2448-6736; ISSN: 1665-6423

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