dor_id: 65335

506.#.#.a: Público

502.#.#.a: Maestría

650.#.4.x: Físico Matemáticas y Ciencias de la Tierra

336.#.#.b: masterThesis

336.#.#.3: Tesis de maestría

336.#.#.a: Trabajo de grado

351.#.#.6: http://oreon.dgbiblio.unam.mx/F?RN=993413179

351.#.#.b: TESIUNAM

351.#.#.a: Tesis

harvesting_group: TesiUNAM

270.1.#.p: Dirección General de Bibliotecas, UNAM en http://www.dgb.unam.mx/index.php/quienes-somos/dudas-y-comentarios

590.#.#.c: DSpace

270.#.#.d: MX

270.1.#.d: México

590.#.#.b: Concentrador

883.#.#.u: https://ru.dgb.unam.mx/

883.#.#.a: Repositorio de la Dirección General de Bibliotecas y Servicios Digitales de Información

590.#.#.a: Administración central

883.#.#.1: http://dgb.unam.mx/

883.#.#.q: Dirección General de Bibliotecas y Servicios Digitales de Información

850.#.#.a: Universidad Nacional Autónoma de México

856.4.0.u: http://132.248.9.195/pd2001/296748/296748.pdf

100.1.#.a: Pichardo Pedrero, Ernesto

524.#.#.a: Pichardo Pedrero, Ernesto. (2001). "Peliculas delgadas de SiO2 impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica". (Tesis de Maestría). Universidad Nacional Autónoma de México, México. Recuperado de https://repositorio.unam.mx/contenidos/65335

720.#.#.a: Alonso Huitrón, Juan Carlos asesor

245.1.0.a: Peliculas delgadas de SiO2 impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica

502.#.#.b: Maestría en Ciencia e Ingeniería de Materiales

502.#.#.c: Universidad Nacional Autónoma de México

561.1.#.a: Coordinación General de Estudios de Posgrado, UNAM

264.#.0.c: 2001

264.#.1.c: 2001

307.#.#.a: 2018-12-31

506.1.#.a: La titularidad de los derechos patrimoniales de esta obra pertenece a Pichardo Pedrero, Ernesto. Su uso se rige por una licencia Creative Commons BY-NC-ND 4.0 Internacional, https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/legalcode.es, fecha de asignación de la licencia 2001, para un uso diferente consultar al responsable jurídico del repositorio en bidi@dgb.unam.mx

884.#.#.k: https://ru.dgb.unam.mx/handle/DGB_UNAM/TES01000296748

041.#.7.h: spa

handle: 00ea7a22b4886bea

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856.#.0.q: application/pdf

last_modified: 2020-06-22 23:35:00

license_url: https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/legalcode.es

license_type: by-nc-nd

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