dor_id: 3579841

506.#.#.a: Público

502.#.#.a: Licenciatura

561.#.#.u: https://ru.dgb.unam.mx

650.#.4.x: Físico Matemáticas y Ciencias de la Tierra

336.#.#.b: bachelor thesis

336.#.#.3: Tesis de licenciatura

336.#.#.a: Trabajo de grado

351.#.#.6: https://ru.dgb.unam.mx/handle/DGB_UNAM/5

351.#.#.b: TESIUNAM

351.#.#.a: Tesis

harvesting_group: TesiUNAM

270.1.#.p: bidi@dgb.unam.mx

590.#.#.c: DSpace

270.#.#.d: MX

270.1.#.d: México

590.#.#.b: Concentrador

883.#.#.u: https://ru.dgb.unam.mx

883.#.#.a: Repositorio de la Dirección General de Bibliotecas y Servicios Digitales de Información

590.#.#.a: Administración Central

883.#.#.1: https://www.dgb.unam.mx

883.#.#.q: Dirección General de Bibliotecas y Servicios Digitales de Información, UNAM

850.#.#.a: Universidad Nacional Autónoma de México

856.4.0.u: http://132.248.9.195/ptd2021/febrero/0809230/Index.html

100.1.#.a: Soto Valle Angulo, Genaro

100.1.#.0: Soto Valle Angulo, Genaro::si::SinIdentificador

524.#.#.a: Soto Valle Angulo, Genaro (2020). Optimización del proceso de pulverización catódica reactiva por espectroscopía de emisión óptica del plasma: estudio de Si3N4. Centro de Nanociencias y Nanotecnología, UNAM. Recuperado de https://repositorio.unam.mx/contenidos/3579841

720.#.#.a: Sanginés de Castro, Roberto

245.1.0.a: Optimización del proceso de pulverización catódica reactiva por espectroscopía de emisión óptica del plasma: estudio de Si3N4

502.#.#.b: Licenciatura en Nanotecnología

502.#.#.c: Universidad Nacional Autónoma de México

561.1.#.a: Centro de Nanociencias y Nanotecnología, UNAM

264.#.0.c: 2020

264.#.1.c: 2020

506.1.#.a: La titularidad de los derechos patrimoniales de esta obra pertenece a Soto Valle Angulo, Genaro. Su uso se rige por una licencia Creative Commons BY-NC-ND 4.0 Internacional, https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/legalcode.es, fecha de asignación de la licencia 2021-12-30, para un uso diferente consultar al responsable jurídico del repositorio en bidi@dgb.unam.mx

884.#.#.k: https://ru.dgb.unam.mx/handle/DGB_UNAM/TES01000809230

001.#.#.#: oai:ru.dgb.unam.mx:DGB_UNAM/TES01000809230

720.#.#.0: Sanginés de Castro, Roberto::si::SinIdentificador::role::asesorTesis

041.#.7.h: spa

046.#.#.j: 2021-12-30 12:35:00.017

300.#.#.a: 100 páginas

533.#.#.b: MX

harvesting_date: 2022-05-24 12:00:00.0

856.#.0.q: application/pdf

file_name: 2cd8a46ac145439e5a68ebeb823d18ee51c9d7db9be974f85ae6097c0d02eb80.pdf

file_pages_number: 101

file_format_version: application/pdf; version=1.7

file_size: 8746818

last_modified: 2022-11-16 18:00:00

license_url: https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/legalcode.es

license_type: by-nc-nd

No entro en nada

No entro en nada 2