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561.#.#.u: https://www.ingenieria.unam.mx/

650.#.4.x: Ingenierías

336.#.#.b: article

336.#.#.3: Artículo de Investigación

336.#.#.a: Artículo

351.#.#.6: http://www.revistas.unam.mx/index.php/ingenieria/index

351.#.#.b: Ingeniería, Investigación y Tecnología

351.#.#.a: Artículos

harvesting_group: RevistasUNAM

270.1.#.p: Revistas UNAM. Dirección General de Publicaciones y Fomento Editorial, UNAM en revistas@unam.mx

590.#.#.c: Open Journal Systems (OJS)

270.#.#.d: MX

270.1.#.d: México

590.#.#.b: Concentrador

883.#.#.u: http://www.revistas.unam.mx/front/

883.#.#.a: Revistas UNAM

590.#.#.a: Coordinación de Difusión Cultural, UNAM

883.#.#.1: https://www.publicaciones.unam.mx/

883.#.#.q: Dirección General de Publicaciones y Fomento Editorial, UNAM

850.#.#.a: Universidad Nacional Autónoma de México

856.4.0.u: http://www.revistas.unam.mx/index.php/ingenieria/article/view/39946/36350

100.1.#.a: Márquez Herrera, Alfredo; Hernández-rodríguez, Eric Noé; Zapata Torres Martín, Guadalupe; Cruz Jáuregui, María de la Paz; Meléndez Lira, Miguel Ángel

524.#.#.a: Márquez Herrera, Alfredo, et al. (2013). Estudio de la temperatura de crecimiento sobre la cristalinidad en películas delgadas de BaTiO3. Ingeniería Investigación y Tecnología; Vol 14, No 3, 2013. Recuperado de https://repositorio.unam.mx/contenidos/26122

245.1.0.a: Estudio de la temperatura de crecimiento sobre la cristalinidad en películas delgadas de BaTiO3

502.#.#.c: Universidad Nacional Autónoma de México

561.1.#.a: Facultad de Ingeniería, UNAM

264.#.0.c: 2013

264.#.1.c: 2013-09-17

653.#.#.a: Películas delgadas; tratamientos térmicos; batio3

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884.#.#.k: http://www.revistas.unam.mx/index.php/ingenieria/article/view/39946

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773.1.#.t: Ingeniería Investigación y Tecnología; Vol 14, No 3 (2013)

773.1.#.o: http://www.revistas.unam.mx/index.php/ingenieria/index

046.#.#.j: 2021-08-03 00:00:00.000000

022.#.#.a: ISSN impreso: 1405-7743

310.#.#.a: Trimestral

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No entro en nada 2

Artículo

Estudio de la temperatura de crecimiento sobre la cristalinidad en películas delgadas de BaTiO3

Márquez Herrera, Alfredo; Hernández-rodríguez, Eric Noé; Zapata Torres Martín, Guadalupe; Cruz Jáuregui, María de la Paz; Meléndez Lira, Miguel Ángel

Facultad de Ingeniería, UNAM, publicado en Ingeniería, Investigación y Tecnología, y cosechado de Revistas UNAM

Licencia de uso

Procedencia del contenido

Cita

Márquez Herrera, Alfredo, et al. (2013). Estudio de la temperatura de crecimiento sobre la cristalinidad en películas delgadas de BaTiO3. Ingeniería Investigación y Tecnología; Vol 14, No 3, 2013. Recuperado de https://repositorio.unam.mx/contenidos/26122

Descripción del recurso

Autor(es)
Márquez Herrera, Alfredo; Hernández-rodríguez, Eric Noé; Zapata Torres Martín, Guadalupe; Cruz Jáuregui, María de la Paz; Meléndez Lira, Miguel Ángel
Tipo
Artículo de Investigación
Área del conocimiento
Ingenierías
Título
Estudio de la temperatura de crecimiento sobre la cristalinidad en películas delgadas de BaTiO3
Fecha
2013-09-17
Resumen
Películas delgadas ferroeléctricas de batio3 (bto) se depositaron a partir de un blanco de batio3 mediante la técnica de rf-sputtering (erosión catódica por radio frecuencia) sobre substratos de nicromel y cuarzo. Se estudió el efecto de la temperatura de sustrato in-situ en la cristalinidad del material durante su depósito. estas muestras fueron comparadas con películas depositadas a temperatura ambiente y tratadas térmicamente posterior al depósito fuera de la cámara de crecimiento. El estudio de la cristalinidad fue realizado mediante la técnica de difracción de rayos-x. adicionalmente, se llevaron a cabo caracterizaciones ópticas mediante un espectrofotómetro uv-vis. El crecimiento de películas delgadas con temperatura de sustrato permite la obtención de materiales cristalinos a temperaturas por debajo de las reportadas por otros autores.
Tema
Películas delgadas; tratamientos térmicos; batio3
Idioma
spa
ISSN
ISSN impreso: 1405-7743

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