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506.#.#.a: Público

590.#.#.d: Los artículos enviados a JART se juzgan por medio de un proceso de revisión por pares

510.0.#.a: Consejo Nacional de Ciencia y Tecnología (CONACyT), Sistema Regional de Información en Línea para Revistas Científicas de América Latina, el Caribe, España y Portugal (Latindex), SCOPUS, Directory of Open Access Journals (DOAJ), Periódica, Red de Revistas Científicas de América Latina y el Caribe, España y Portugal (Redalyc), Google Académico

561.#.#.u: https://www.icat.unam.mx/

650.#.4.x: Ingenierías

336.#.#.b: article

336.#.#.3: Artículo de Investigación

336.#.#.a: Artículo

351.#.#.6: http://jart.icat.unam.mx/index.php/jart

351.#.#.b: Journal of Applied Research and Technology

351.#.#.a: Artículos

harvesting_group: RevistasUNAM

270.1.#.p: Revistas UNAM. Dirección General de Publicaciones y Fomento Editorial, UNAM en revistas@unam.mx

590.#.#.c: Open Journal Systems (OJS)

270.#.#.d: MX

270.1.#.d: México

590.#.#.b: Concentrador

883.#.#.u: http://www.revistas.unam.mx/front/

883.#.#.a: Revistas UNAM

590.#.#.a: Coordinación de Difusión Cultural

883.#.#.1: https://www.publicaciones.unam.mx/

883.#.#.q: Dirección General de Publicaciones y Fomento Editorial, UNAM

850.#.#.a: Universidad Nacional Autónoma de México

856.4.0.u: http://jart.icat.unam.mx/index.php/jart/article/view/928/762

100.1.#.a: Méndez, E. Gómez; Posada, C. M.; Ocampo, J. M. Jaramillo

524.#.#.a: Méndez, E. Gómez, et al. (2020). Development of a bearing-free, low-vibration vacuum chuck for a spin-coating apparatus. Journal of Applied Research and Technology; Vol 18 No 1, 2020. Recuperado de https://repositorio.unam.mx/contenidos/4110238

245.1.0.a: Development of a bearing-free, low-vibration vacuum chuck for a spin-coating apparatus

502.#.#.c: Universidad Nacional Autónoma de México

561.1.#.a: Instituto de Ciencias Aplicadas y Tecnología, UNAM

264.#.0.c: 2020

264.#.1.c: 2020-03-20

506.1.#.a: La titularidad de los derechos patrimoniales de esta obra pertenece a las instituciones editoras. Su uso se rige por una licencia Creative Commons BY 4.0 Internacional, https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/legalcode.es, fecha de asignación de la licencia 2020-03-20, para un uso diferente consultar al responsable jurídico del repositorio por medio del correo electrónico revistas@unam.mx

884.#.#.k: http://jart.icat.unam.mx/index.php/jart/article/view/928

001.#.#.#: oai:ojs2.localhost:article/928

041.#.7.h: eng

773.1.#.t: Journal of Applied Research and Technology; Vol 18 No 1 (2020)

773.1.#.o: http://jart.icat.unam.mx/index.php/jart

046.#.#.j: 2021-04-13 00:00:00.000000

022.#.#.a: ISSN electrónico: 2448-6736; ISSN: 1665-6423

310.#.#.a: Bimestral

264.#.1.b: Instituto de Ciencias Aplicadas y Tecnología, UNAM

758.#.#.1: http://jart.icat.unam.mx/index.php/jart

doi: https://doi.org/10.22201/icat.24486736e.2020.18.1.928

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No entro en nada

No entro en nada 2

Artículo

Development of a bearing-free, low-vibration vacuum chuck for a spin-coating apparatus

Méndez, E. Gómez; Posada, C. M.; Ocampo, J. M. Jaramillo

Instituto de Ciencias Aplicadas y Tecnología, UNAM, publicado en Journal of Applied Research and Technology, y cosechado de Revistas UNAM

Licencia de uso

Procedencia del contenido

Cita

Méndez, E. Gómez, et al. (2020). Development of a bearing-free, low-vibration vacuum chuck for a spin-coating apparatus. Journal of Applied Research and Technology; Vol 18 No 1, 2020. Recuperado de https://repositorio.unam.mx/contenidos/4110238

Descripción del recurso

Autor(es)
Méndez, E. Gómez; Posada, C. M.; Ocampo, J. M. Jaramillo
Tipo
Artículo de Investigación
Área del conocimiento
Ingenierías
Título
Development of a bearing-free, low-vibration vacuum chuck for a spin-coating apparatus
Fecha
2020-03-20
Idioma
eng
ISSN
ISSN electrónico: 2448-6736; ISSN: 1665-6423

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