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Artículo

Development of a bearing-free, low-vibration vacuum chuck for a spin-coating apparatus

Méndez, E. Gómez; Posada, C. M.; Ocampo, J. M. Jaramillo

Instituto de Ciencias Aplicadas y Tecnología, UNAM, publicado en Journal of Applied Research and Technology, y cosechado de Revistas UNAM

Licencia de uso

Procedencia del contenido

Cita

Méndez, et al. (2020). Development of a bearing-free, low-vibration vacuum chuck for a spin-coating apparatus. Journal of Applied Research and Technology; Vol. 18 Núm. 1, 2020. Recuperado de https://repositorio.unam.mx/contenidos/4110238

Descripción del recurso

Autor(es)
Méndez, E. Gómez; Posada, C. M.; Ocampo, J. M. Jaramillo
Tipo
Artículo de Investigación
Área del conocimiento
Ingenierías
Título
Development of a bearing-free, low-vibration vacuum chuck for a spin-coating apparatus
Fecha
2020-03-20
Tema
Spin coater; vacuum chuck; thin films; photoresist; mechanical design
Idioma
eng
ISSN
ISSN electrónico: 2448-6736; ISSN: 1665-6423

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