dor_id: 4128580

506.#.#.a: Público

590.#.#.d: Cada artículo es evaluado mediante una revisión ciega única. Los revisores son externos nacionales e internacionales.

510.0.#.a: Web of Science (WoS), Directory of Open Access Journals (DOAJ), Sistema Regional de Información en Línea para Revistas Científicas de América Latina, el Caribe, España y Portugal (Latindex), Scientific Electronic Library Online (SciELO), Consejo Nacional de Ciencia y Tecnología (CONACyT), La Red de Revistas Científicas de América Latina y el Caribe, España y Portugal (Redalyc)

561.#.#.u: https://www.fciencias.unam.mx/

650.#.4.x: Físico Matemáticas y Ciencias de la Tierra

336.#.#.b: article

336.#.#.3: Artículo de Investigación

336.#.#.a: Artículo

351.#.#.6: https://rmf.smf.mx/ojs/rmf/index

351.#.#.b: Revista Mexicana de Física

351.#.#.a: Artículos

270.1.#.p: Revistas UNAM. Dirección General de Publicaciones y Fomento Editorial, UNAM en revistas@unam.mx

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245.1.0.a: Cu 4O3 thin films deposited by non-reactive rf-magnetron sputtering from a copper oxide target

502.#.#.c: Universidad Nacional Autónoma de México

561.1.#.a: Facultad de Ciencias, UNAM

264.#.0.c: 2021

264.#.1.c: 2021-05-01

653.#.#.a: Paramelaconite; cu​4​o​3​; non reactive sputtering; thermal oxidation

506.1.#.a: La titularidad de los derechos patrimoniales de esta obra pertenece a las instituciones editoras. Su uso se rige por una licencia Creative Commons BY-NC-ND 4.0 Internacional, https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/legalcode.es, fecha de asignación de la licencia 2021-05-01, para un uso diferente consultar al responsable jurídico del repositorio por medio del correo electrónico rmf@ciencias.unam.mx

884.#.#.k: https://rmf.smf.mx/ojs/index.php/rmf/article/view/5555

001.#.#.#: rmf.oai:ojs2.rmf.smf.mx:article/5555

041.#.7.h: eng

520.3.#.a: Copper oxide thin films deposited by sputtering are frequently formed by using metal copper targets in reactive atmospheres. In this report, paramelaconite (Cu4O3) thin films were deposited by non-reactive rf magnetron sputtering. The target used for sputtering was a copper oxide disk fabricated by oxidation of metal copper at 1000 °C for 24 h in airatmosphere. X-ray diffraction (XRD) results showed that the copper oxide target was mainly composed of cupric oxide (CuO) and cuprous oxide (Cu2O) crystals. Raman analyses suggested that the surface of the copper oxide disk is composed by a (CuO) layer. XRD measurements performed to the copper oxide thin films deposited by non-reactive rf magnetron sputtering showed that the film is composed of (Cu4O3) crystals. However,Raman measurements indicated that the Cu4O3 thin films are also composed by amorphous CuO and Cu2O.

773.1.#.t: Revista Mexicana de Física; Vol. 67 No. 3 (2021); 495–499

773.1.#.o: https://rmf.smf.mx/ojs/rmf/index

022.#.#.a: ISSN electrónico: 2683-2224; ISSN impreso: 0035-001X

310.#.#.a: Bimestral

300.#.#.a: Páginas: 495–499

264.#.1.b: Facultad de Ciencias, UNAM

758.#.#.1: https://rmf.smf.mx/ojs/rmf/index

doi: https://doi.org/10.31349/RevMexFis.67.495

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