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884.#.#.k: https://rmf.smf.mx/ojs/rmf/article/view/3960

001.#.#.#: oai:ojs.rmf.smf.mx:article/3960

041.#.7.h: spa

520.3.#.a: Recubrimientos de 25 bicapas de Cr/Cran con espesores totales entre 1.32 y 1.67 micras, se depositaron por sputtering reactivo sobre silicio y sobre acero H13, en atmosferas de argón y argón más nitrógeno. Se uso una potencia de 160 watts, flujos de argón y nitrógeno de 9 y 3sccm respectivamente, y un magnetrón axial desbalanceado, cuyo coeficiente geométrico de desbalance KG[1] se varió entre 0.85 y 1.37. De estos recubrimientos se obtuvieron micrografías de sección superficial y transversal con microscopía electrónica de barrido SEM, se les hizo una caracterización micro estructural con difracción de rayos X XRD, una caracterización nano estructural con microscopía electrónica de transmisión TEM y superficial con microscopía de fuerza atómica AFM en modo contacto intermitente, análisis que mostraron recubrimientos de superficies uniformes con formaciones globulares y piramidales, que contienen algunas inclusiones granulares y cráteres microscópicos. Con el aumento en el desbalance del campo magnético, se incrementaron el tamaño de grano, la rugosidad y la velocidad de crecimiento de los recubrimientos.

773.1.#.t: Revista Mexicana de Física; Vol 59, No 1 (2013): 10-0

773.1.#.o: https://rmf.smf.mx/ojs/rmf/index

046.#.#.j: 2020-11-25 00:00:00.000000

022.#.#.a: 2683-2224 (digital); 0035-001X (impresa)

310.#.#.a: Bimestral

264.#.1.b: Sociedad Mexicana de Física, A.C.

758.#.#.1: https://rmf.smf.mx/ojs/rmf/index

handle: 00c652468f550906

harvesting_date: 2020-09-23 00:00:00.0

856.#.0.q: application/pdf

last_modified: 2020-11-27 00:00:00

license_url: https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/legalcode.es

license_type: by-nc-nd

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No entro en nada 2

Artículo

Caracterización superficial y nano estructural de nano multicapas Cr/CrN obtenidas por UBM con diferentes grados de desbalance

Piratoba, U.; Arenas Alatorre, J.; Olaya, J. J.

Facultad de Ciencias, UNAM, publicado en Revista Mexicana de Física, y cosechado de Revistas UNAM

Licencia de uso

Procedencia del contenido

Entidad o dependencia
Facultad de Ciencias, UNAM
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Revistas UNAM. Dirección General de Publicaciones y Fomento Editorial, UNAM en revistas@unam.mx

Cita

Piratoba, U., et al. (2013). Caracterización superficial y nano estructural de nano multicapas Cr/CrN obtenidas por UBM con diferentes grados de desbalance. Revista Mexicana de Física; Vol 59, No 1: 10-0. Recuperado de https://repositorio.unam.mx/contenidos/4108525

Descripción del recurso

Autor(es)
Piratoba, U.; Arenas Alatorre, J.; Olaya, J. J.
Tipo
Artículo de Investigación
Área del conocimiento
Físico Matemáticas y Ciencias de la Tierra
Título
Caracterización superficial y nano estructural de nano multicapas Cr/CrN obtenidas por UBM con diferentes grados de desbalance
Fecha
2013-01-01
Resumen
Recubrimientos de 25 bicapas de Cr/Cran con espesores totales entre 1.32 y 1.67 micras, se depositaron por sputtering reactivo sobre silicio y sobre acero H13, en atmosferas de argón y argón más nitrógeno. Se uso una potencia de 160 watts, flujos de argón y nitrógeno de 9 y 3sccm respectivamente, y un magnetrón axial desbalanceado, cuyo coeficiente geométrico de desbalance KG[1] se varió entre 0.85 y 1.37. De estos recubrimientos se obtuvieron micrografías de sección superficial y transversal con microscopía electrónica de barrido SEM, se les hizo una caracterización micro estructural con difracción de rayos X XRD, una caracterización nano estructural con microscopía electrónica de transmisión TEM y superficial con microscopía de fuerza atómica AFM en modo contacto intermitente, análisis que mostraron recubrimientos de superficies uniformes con formaciones globulares y piramidales, que contienen algunas inclusiones granulares y cráteres microscópicos. Con el aumento en el desbalance del campo magnético, se incrementaron el tamaño de grano, la rugosidad y la velocidad de crecimiento de los recubrimientos.
Tema
Cr/CrN; multicapas; pulverización; AFM contacto intermitente; recubrimientos duros
Idioma
spa
ISSN
2683-2224 (digital); 0035-001X (impresa)

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